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高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的工作原理及其性能特點(diǎn)有哪些?

來(lái)源:南京愛爾傳感 發(fā)布時(shí)間:2020-06-15 10:54 瀏覽量:

  頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器在軍事工程,化爆試驗(yàn),石油勘采與土木工程學(xué),巖土力學(xué)等液壓動(dòng)力機(jī)械試驗(yàn)等科學(xué)試驗(yàn)與現(xiàn)代化儀器儀表中都有廣泛的應(yīng)用,它可以在極短的上升時(shí)間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶,以保證足夠的動(dòng)態(tài)測(cè)壓精度,下面,小編就為大家簡(jiǎn)單介紹一下高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的工作原理及其性能特點(diǎn)。

 

高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的介紹:

  TS108高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器針對(duì):對(duì)化爆試驗(yàn),軍事工程,石油勘采與試井,材料,力學(xué),土木工程學(xué),巖土力學(xué)。

  創(chuàng)傷醫(yī)學(xué),液壓動(dòng)力機(jī)械試驗(yàn)等科學(xué)試驗(yàn)與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測(cè)量一些變化頻率高,壓力波形上升快陡的動(dòng)態(tài)壓力波形與幅值、有效值、低噪音,高分辨率,要求所用壓力傳感器具有很高的固有頻率,極短的上升時(shí)間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶,以保證足夠的動(dòng)態(tài)測(cè)壓精度。

  本產(chǎn)品采用微機(jī)械加工技術(shù)使得集成硅膜片尺寸小,固有頻率高,具有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性,綜合能力優(yōu)于壓電動(dòng)態(tài)壓力傳感器,成為動(dòng)態(tài)測(cè)量行業(yè)首選的測(cè)壓產(chǎn)品。

 

高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的工作原理:

  MEMS壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理,采用三維集成電路工藝及- -些專用特殊工藝在單晶硅片薄膜上的特定晶向制成4個(gè)應(yīng)變電阻構(gòu)成惠斯通檢測(cè)電橋。被測(cè)介質(zhì)施壓使橋壁電阻值發(fā)生變化,產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)電壓信號(hào),此信號(hào)經(jīng)專用放大電路將量程相對(duì)應(yīng)信號(hào)轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)模擬信號(hào)或數(shù)字信號(hào)。

高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的特點(diǎn):

  全不銹鋼外殼,卓越的腐蝕性能

  采用壓阻式擴(kuò)散硅芯片,固有頻率高于壓電式動(dòng)態(tài)壓力傳感器(固有頻率可達(dá)1MHz)

  信噪比好、高分辨率、高信噪比、抗干擾能力強(qiáng)

  外形尺寸小,重量輕,類型齊全,性價(jià)比高

  適用于化爆實(shí)驗(yàn)、水工、空氣動(dòng)力力學(xué)實(shí)驗(yàn)等高端測(cè)量行業(yè)

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